Needs 비파괴 검사방법

Vacuum/ATM Robot

B/M시 해체, 조립
간접적 품질 검수
Leak등 fail이나 particle 발생시 원인분석 어려움

ESC

B/M시 단면 파괴 검사
간접적 품질 검수 Repair후 검수 어려움
Leak, short등 fail 발생시 원인분석 어려움

AlN/Al Heater

B/M시 단면 파괴 검사
간접적 품질 검수
Leak, crack, short등 fail시 원인분석 어려움

Vaporizer, S/H, V/V류

B/M시 단면 파괴 검사
간접적 품질 검수
Leak, particle등 문제 발생시 원인분석 어려움

Robot

ESC

Heater

기타

“3D 분석 System”

ESC 개발

각 부위별 pattern 상이
단면 cutting시 size등 수치 불명확
목적 부위의 정확한 단면 cutting 어려움
각 층별 data 정보 확보 어려움

VX3D 활용

3차원 촬영 및 분석
Size등에 대한 정확한 수치화
목적 부위의 상세 분석 가능
각 층별 data 정보 확보
CAD, Solidworks, ProE등과 호환성

ESC Pattern