공장 자동화와 더불어 공정을 진단할 수 있는 sensor 기술에 대한 needs가 증대하고 있음.
기존의 optical sensor 기술은 dry etcher등 식각 장비에는 적합한 기술이나 CVD등의 박막 증착 장비에 적용시 챔버 막 누적에 따른 신뢰성 저하등의 issue로 사용이 제한적임.
HeMoS는 이러한 단점을 보완한 제품으로 In-situ process monitoring을 통한 품질 사전예방 보전이 가능하고 In-situ thickness monitoring을 통하여 두께 계측 대체, ARS 구현을 통한 process 제어 및 두께 산포 개선등에 기여할 수 있음.

“In-situ Monitoring System”

공장 자동화관련 진단 기술 needs

“Big data 분석(A.I 기술 접목)”

제품 사양

입력방식 SMA Type 동축케이블
(RG400 50옴 SMA Type)
출력방식 RS-232C
(D-sub 9pin)
Pin2 : RX
Pin3 : TX
Pin5 : GND
Pin1,4,6,7,8,9 : N.C
동작전원 12V
(CPC Connector 4P Round)
Pin 1 : + (12V)
Pin 2 : – (GND)
제품크기 140 X 70 X 60 (mm)