공장 자동화와 더불어 공정을 진단할 수 있는 sensor 기술에 대한 needs가 증대하고 있음.
기존의 optical sensor 기술은 dry etcher등 식각 장비에는 적합한 기술이나 CVD등의 박막 증착 장비에 적용시 챔버 막 누적에 따른 신뢰성 저하등의 issue로 사용이 제한적임.
HeMoS는 이러한 단점을 보완한 제품으로 In-situ process monitoring을 통한 품질 사전예방 보전이 가능하고 In-situ thickness monitoring을 통하여 두께 계측 대체, ARS 구현을 통한 process 제어 및 두께 산포 개선등에 기여할 수 있음.
“In-situ Monitoring System”
공장 자동화관련 진단 기술 needs
“Big data 분석(A.I 기술 접목)”
제품 사양
| 입력방식 | SMA Type | 동축케이블 (RG400 50옴 SMA Type) |
|---|---|---|
| 출력방식 | RS-232C (D-sub 9pin) |
Pin2 : RX Pin3 : TX Pin5 : GND Pin1,4,6,7,8,9 : N.C |
| 동작전원 | 12V (CPC Connector 4P Round) |
Pin 1 : + (12V) Pin 2 : – (GND) |
| 제품크기 | 140 X 70 X 60 (mm) | |